| 用于验证扫描和解扫描显微镜组件的横向和轴向共焦性质的方法和装置 |
| DE102021134384 2021-12-22 发明申请 |
| 2023-6-22 |
| 一种用于检查扫描和解扫描显微镜组件(3)的共焦性质的辅助装置(18)，具有用于将辅助装置(18)在限定的相对位置上连接到扫描和解扫描显微镜组件(3)的终端(73)、以固定取向延伸到终端(73)的光轴(39)、辅助检测器(24)和提供辅助光(20)的辅助光源(22)。 所述辅助检测器(24)具有辅助检测阀(25)，所述辅助检测阀可相对于所述端子(73)在沿所述光轴(39)的方向彼此间隔开的多个辅助检测位置中或者在沿所述光轴(39)的方向并且横向于所述光轴(39)彼此间隔开的多个辅助检测位置中相对于所述端子移动。 辅助光源(20)具有辅助发射阀(21)，所述辅助发射阀能够相对于端子(73)在光轴(39)的方向上彼此间隔开的多个辅助发射阀位置中相对于光轴(39)的方向彼此移动，或者具有多个辅助发射传感器(21)，所述辅助发射传感器能够在光轴(39)的方向上并且横向于光轴(39)彼此间隔开的多个辅助发射阀位置中移动。 |
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