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4
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扫描式电子显微镜影像强化
TW111133086 2022-9-1 发明申请
2023-6-16
公开了一种降低扫描电子显微镜的图像中的样品的带电效应的方法。 所述方法包括从在第一扫描方向上的第一电子束扫描获得所述样品上的目标特征的第一图像; 从在不同于所述第一扫描方向的第二扫描方向上的第二电子束扫描获得所述样品上的所述目标特征的第二图像; 对齐所述第一图像和所述第二图像; 以及基于所述第一图像和所述第二图像的组合生成输出图像.; ().:
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