| 扫描显微镜 |
| WOJP22044549 2022-12-2 发明申请 |
| 2023-6-15 |
| 该扫描显微镜的扫描光学系统(SL)包括多个透镜部件，并且整体上具有正折射光焦度，每个透镜部件包括一个由多个透镜彼此接合而成的接合透镜或一个透镜。 所述扫描光学系统满足以下条件式.0.007＜Σ(nd×tc/νd)/LA＜0.021，其中，Σ(nd×tc/νd)是当构成所述多个透镜部件的透镜的d线的折射率用nd、所述透镜的中心厚度用tc表示、并且所述透镜的阿贝数用νd表示时，所述多个透镜部件的透镜的nd×tc/νd的总和， LA是从最靠近扫描机构的透镜部件的扫描机构侧的透镜表面到最靠近物镜光学系统的透镜部件的物镜光学系统侧的透镜表面在光轴上的距离。 |
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