| 流体色谱扩散键合平面装置中的压力传感和流量控制 |
| US13696965 2011-5-10 发明申请 |
| 2013-5-30 |
| 用于流体色谱系统的流过压力传感器包括由多个金属片和至少一个感测元件的扩散接合形成的平面装置。 所述平面装置具有顶面、底面和流通通道。 由所述顶表面或底表面之一的一部分形成的隔膜位于所述流通通道的感测区域附近并附接到所述感测元件。 隔膜的尺寸设计成响应于感测区域中的流体压力偏转一段距离，感测区域具有小于约25微升的内部体积。 隔膜和附接的感测元件形成压力传感器，该压力传感器测量隔膜的应变或偏转以计算感测区域内的压力。 |
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