| 测量方法以及基于原子力显微镜测头的大范围轮廓仪 |
| CN202211715351.1 2022-12-29 发明申请 |
| 2023-6-13 |
| 本申请涉及轮廓测量技术领域，特别是一种测量方法以及基于原子力显微镜测头的大范围轮廓仪。通过AFM测头得到样品轮廓的Z向测量值，基于Z向测量值与样品在AFM测头的探针针尖位置的测量误差值得到样品的真实Z向值，克服了大范围轮廓测量时引起的测量误差，提高了测量精确度。在一些实施例中，当样品轮廓变化使得Z向压电陶瓷接近其行程极限时，通过Z向电机的反馈运动使Z向压电陶瓷向所述Z向压电陶瓷的行程中间运动，样品轮廓上各点的高度即Z向测量值由Z向压电陶瓷位移量和电机位移量之和得到。通过上述设置，在轮廓仪测量过程中不会超出AFM测头的Z向量程，实现了基于原子力显微镜测头即AFM测头的大范围轮廓测量。 |
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