| 一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台 |
| CN202310420937.3 2023-4-19 发明申请 |
| 2023-6-13 |
| 本发明公开一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台，包括底座、安装在底座上的驱动机构和承载板，所述承载板固定安装在所述驱动机构的驱动端上，所述承载板的外侧设置有保护罩，所述承载板的上方设置有顶板，所述顶板上开设有缺口，所述保护罩的一端与底座固定连接，所述保护罩的另一端与顶板固定连接；所述承载板上安装有缸筒。本发明，设置活动盖板和盖板驱动机构，能够自动对样品表面的高度进行定位，实现样品表面位置处于焦距内，对于多个样品逐一观察时，能够保证每个样品的表面处于焦距内，对多个样品同步观察时，能够保证多个样品的表面均处于焦距内，从而避免了反复调节焦距的麻烦，并且保证成像质量。 |
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