| 压力传感和扩散键合的平面中的流动控制装置用于液相色谱 |
| WOUS11035988 2011-5-10 发明申请 |
| 2011-11-17 |
| 流过压力传感器用于流体色谱系统包括一平面形成装置中使用从扩散粘合的一种多个金属片和至少一个传感元件。该平面的装置具有一顶表面，一个底表面和一个流动通过通道。一种形成的隔膜从顶部或底部表面的一部分的一个是位于相邻到一个感测区的流动通过通道和被连接到所述传感元件。所述隔膜为尺寸的偏转距离在响应于该感测区中的流体压力，它具有一内体积小于大约25μl。所述隔膜和连接的感测元件形成一压力传感器测量菌株或该膜片的偏转，以计算该感测区域内的压力。 |
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