产业集群信息网

产业专利数据

扫描电子显微镜的光圈组件结构

KR1020210170190 2021-12-1 发明申请

2023-6-8

本发明涉及一种便于电子束穿过的孔径对准、减少装配结构变形、经久耐用的扫描电子显微镜的上部装配结构。