| 用于模块化扫描探针显微镜头的减震底座 |
| US17996246 2021-5-6 发明申请 |
| 2023-6-8 |
| 一种设备，包括扫描探针显微镜基座，所述扫描探针显微镜基座包括：被配置为固定到低温保持器中的插入件的端部； 顶部，所述顶部被构造成连接到扫描探针显微镜头的基座，所述扫描探针显微镜头被构造成设置在所述插入件内部； 以及阻尼系统，所述阻尼系统设置在所述框架和所述顶部之间并且包括密封所述插入件的所述端部的波纹管。 这种密封将插入件中的超高真空(UHV)环境与围绕插入件的端部的高真空(HV)环境分开，并且还将顶部的上表面定位在UHV环境中。 |
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