| 超高纯气体中微量杂质分析的气相色谱检测系统 |
| CN201220167207.4 2012-4-19 实用新型 |
| 2012-11-21 |
| 本实用新型涉及气相色谱仪检测设备，尤其涉及超高纯气体中微量杂质分析的气相色谱检测系统，包括色谱柱箱以及信号采集处理器，尾气处理器，色谱柱箱包括切换阀VⅠ(1)与切换阀VⅡ(2)之间设有第一分子筛色谱柱(51)；切换阀VⅡ(2)与切换阀VⅣ(4)之间设有第二分子筛色谱柱(52)；切换阀VⅢ(3)与切换阀VⅣ(4)之间设有第二柱子分离器(62)。本实用新型通过各阀对应一个外部事件来控制，其动作的阶次也由事件编制程序执行，这样整体分析过程自动化控制，动作快速一致可靠，系统的数据重复性与准确性由稳定的流量气路和准 |
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