| 一种小型偏转线圈以及扫描电子显微镜 |
| CN202222716692.2 2022-10-14 实用新型 |
| 2023-6-6 |
| 本实用新型公开了一种小型偏转线圈以及扫描电子显微镜，其中小型偏转线圈包括磁芯、分隔垫木以及环绕所述磁芯的多组线圈体；多个所述分隔垫木均匀布设在所述磁芯上，用于对所述磁芯进行分区；多组所述线圈体中每两组相邻的所述线圈体相交缠绕在所述磁芯的不同区域，且保持每个区域上所绕制的线圈匝数一致；所述磁芯上正对的所述线圈体相连并连接驱动电路以构成提供平面磁场的偏转线圈，使沿光轴方向通过所述磁芯的电子束在平面方向上实现偏转。本实用新型使用一个圆环型磁芯及其环绕的多组线圈实现偏转电子束功能，合理规划线圈绕线分布，整体上缩小线圈体积，可以集成进入桌上型扫描电子显微镜。 |
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