| 显微镜图像成像方法和显微镜图像成像装置 |
| JP2022507017 2020-3-9 发明授权 |
| 2023-6-6 |
| 一种显微图像捕获方法，包括：从光束光源发射光束； 通过照相机或光电二极管检测光斑图像； 通过在光束的光轴方向上相对于样品容器移动物镜的物镜致动器聚焦光斑图像； 由反射面识别单元基于光斑图像确定光束是否已经被施加到缺陷； 当确定光束已经施加到缺陷时，根据规定条件，通过XY载物台在与光束的光轴正交的方向上相对于物镜移动样品容器； 以及当所述光束尚未被施加到所述缺陷时，通过使用照明器捕获样品的显微图像。 |
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