| 具有预对准调节光学器件的显微镜 |
| US18052656 2022-11-4 发明申请 |
| 2023-6-1 |
| 用于检查样本的显微镜,所述显微镜被构造成接收第一光源或第二光源。 所述第一光源被配置为通过第一光瞳发射第一输出光,并且所述第二光源被配置为通过与所述第一光瞳不同的第二光瞳发射第二输出光。 该显微镜包括框架、源物镜、以及第一和第二光学组件。 第一和第二光学组件可拆卸地连接到框架。 第一光学组件包括被配置为将第一输出光传递到源物镜的成像光瞳的第一组光学元件,并且第二光学组件包括被配置为将第二输出光传递到成像光瞳的第二组光学元件。 |