| 一种从原子力显微镜形貌图像中提取表面电势信号的方法 |
| CN202310112555.4 2023-2-14 发明申请 |
| 2023-5-30 |
| 本发明提供了一种从原子力显微镜形貌图像中提取表面电势信号的方法，包括：使用原子力显微镜在表面电势不均匀的区域探测样品表面形貌，获取样品表面的形貌图像，提取形貌偏移量；根据探针振动模型建立表面电势信号与形貌偏移量之间的定量关系模型；将步骤1的形貌偏移量与步骤2的定量关系模型进行比对，获得表面电势信号。本发明无需使用额外的探测模块，能够节约成本，同时基于形貌探测的高分辨率，使得探测表面电势不存在信号失真问题，分辨率高于现有的开尔文力或静电力探测技术。 |
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