| 扫描电子显微镜物镜系统和扫描聚焦方法 |
| CN202310084443.2 2023-1-18 发明申请 |
| 2023-5-30 |
| 本公开实施例提供一种扫描电子显微镜物镜系统和扫描聚焦方法，其中，物镜系统包括磁透镜、第一偏转装置、探测装置、第二偏转装置以及样品台；其中：磁透镜包括主体部分和导磁极靴；第一偏转装置，位于主体部分的内壁与电子束的光轴之间，用于改变入射电子束的运动方向；探测装置，位于第一偏转装置和第二偏转装置之间，用于接收电子束作用于样品台上的待测样品产生的信号电子；第二偏转装置，位于主体部分与导磁极靴之间，用于改变电子束的运动方向；探测装置、第二偏转装置、导磁极靴和样品台形成电透镜；电透镜和磁透镜形成复合物镜，用于汇聚电子束。 |
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