| 气相色谱柱及其形成方法、以及气相色谱仪 |
| CN201210580103.0 2012-12-27 发明申请 |
| 2013-4-24 |
| 本发明公开了一种气相色谱柱及其形成方法、以及气相色谱仪。该方法包括：在衬底的一表面形成若干条第一沟槽，并沿着所述若干条第一沟槽在所述衬底中形成若干条第二沟槽，若干条所述第二沟槽连通形成曲形结构；沿着所述第二沟槽对部分所述衬底进行刻蚀，形成一曲形结构微通道，对所述衬底进行通孔刻蚀，然后在衬底另一表面同样形成另一曲形结构微通道，形成整体为曲形结构微通道，以作为气相色谱柱。本发明通过形成在衬底两个表面的曲形结构微通道，从而实现了器件的小型化以及微型化。 |
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