| 原子力显微镜以及材料表面检测系统 |
| CN202320334336.6 2023-2-24 实用新型 |
| 2023-5-26 |
| 本申请提供一种原子力显微镜以及材料表面检测系统，原子力显微镜包括：原子力显微组件，原子力显微组件具有测量探针；成像组件，成像组件包括第一摄像镜头以及第二摄像镜头，第一摄像镜头和第二摄像镜头分别位于测量探针相邻的两侧；其中，第一摄像镜头用于获取测量探针一侧的第一轮廓像，第二摄像镜头用于获取测量探针另一侧的第二轮廓像，以结合第一轮廓像和第二轮廓像判断测量探针是否异常。本申请可以结合第一轮廓像和第二轮廓像判断测量探针是否异常(例如针尖边钝或者被污染)，避免测试过程由于针尖被污染或针尖变钝而导致AFM图像准确性降低的现象。 |
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