| 用于电子级六氟乙烷中微量杂质分析的气相色谱仪 |
| CN201420657464.5 2014-11-6 实用新型 |
| 2015-1-21 |
| 本实用新型为一种用于电子级六氟乙烷中微量杂质分析的气相色谱仪，其结构包括进样系统，切换阀，色谱柱，放空针阀和检测器，其特征在于：所述进样系统包括样品进口、样品出口、第一定量管、第二定量管、第三定量管；所述切换阀包括第一切换阀、第二切换阀、第三切换阀、第四切换阀、第五切换阀；所述色谱柱包括第一色谱柱、第二色谱柱、第三色谱柱、第四色谱柱、第五色谱柱、第六色谱柱；所述放空针阀包括第一针阀、第二针阀、第三针阀)、第四针阀、第五针阀、第六针阀；所述检测器包括氦离子化第一检测器PDD1和第二检测器PDD2。本实用新型 |
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