| 一种可调频脉冲电子源以及电子显微镜 |
| CN202222651014.2 2022-10-9 实用新型 |
| 2023-5-23 |
| 本实用新型公开了一种可调频脉冲电子源以及电子显微镜,其中电子源包括同轴依次分布的发射单元、第一谐振腔、斩切光阑以及第二谐振腔;所述发射单元用于激发并发射电子;所述第一谐振腔用于沿Z轴施加周期性震荡的磁场,使所述发射单元出射的连续电子束在XY平面发生周期性偏转;所述斩切光阑用于斩断连续电子束,产生脉冲电子;所述第二谐振腔用于沿Z轴施加周期性震荡的电场,用于控制经过第一谐振腔偏转后的脉冲电子束的纵向相位布。本实用新型可以使光路中的电子产生周期性偏转,产生脉冲电子束,并可控制脉冲电子束的纵向相位分布。 |