| 原子力显微镜 |
| KR1020210157600 2021-11-16 发明申请 |
| 2023-5-23 |
| 原子力显微镜的实施例示出了与测量对象相互作用的响应于测量对象的特征的探针，以及用于检测探针的移动的探针感测单元和用于对测量对象执行高速粪便扫描的第一扫描仪； 第二扫描器，其连接到所述第一扫描器的顶部，并且在x-y轴平面上移动所述第一扫描器； 多个固定脚，其与第二扫描仪连接，使第一扫描仪的探针在z轴方向上移动而接近测定对象，并且阻断来自外部的振动传递到第一及第二扫描仪； 以及在所述第一扫描仪对所述测定对象进行扫描时，具备将所述测定环境维持为恒定状态的测定环境控制部。 |
微信公众号