扫描电子显微镜和亮度调节方法
 
JP2021180110  2021-11-4  发明申请

2023-5-18
 
  要解决的问题:能够客观且可再现地调节电子图像的亮度分布。 解决方案:基于电子图像产生标准样本的直方图78。 自动调整检测信号的偏移,使得第一峰值的顶点P1a和第二峰值的顶点P2a之间的中点Cx与标准中点C0匹配。 然后,调整检测信号的增益,使得顶点P1b与顶点P2b之间的距离Dx与标准距离D0一致。 选图:图7版权:(C)2023, JPO&INPIT
 
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