| 原子力显微镜及其探针校准方法 |
| CN202211476836.X 2022-11-23 发明申请 |
| 2023-5-16 |
| 本公开提供一种原子力显微镜及其探针校准方法，涉及精密测量技术领域，用于解决的原子力显微镜其获取图像出现畸变失真的技术问题。该探针校准方法包括在待测样品的表面设定目标位置O；将探针的尖端移动至初始位置A，且初始位置A位于目标位置O的正上方；控制探针的尖端由初始位置朝向目标位置O移动；获取探针的尖端与待测样品的表面接近时的实际位置O’；获取目标位置O与实际位置O’之间的位移偏差，位移偏差包括偏移量和偏移角度；根据位移偏差对所述探针的尖端的初始位置A进行补偿。本公开提供的探针校准方法，能够对探针的目标位置与实际位置的偏差进行补偿，避免引起待测物体形貌图像畸变失真，能够提升分析效果。 |
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