| 压力控制阀和超临界流体色谱仪 |
| WOJP13073546 2013-9-2 发明申请 |
| 2015-3-5 |
| 该压力控制阀设置有 : 压力调节空间，在该开口在上游流动路径和一端开口下游气流通道的一端均形成相互连通，具有阀体的阀机构用于开启或关闭的方向驱动两个上述开口在压力调整空间，和用于改变，通过阀体的位置，大小的间隙，使一端开口之间的通信的上游流动路径和在一端开口的下游流动路径；致动器带动阀体在一个方向；和控制单元，其控制操作的致动器。该致动器包括具有压电元件和压电机构改变位置的阀体一个取决于方向的大小的电压施加到所述压电元件上，具有粗直径和步进机构控制分辨率和较宽的动态范围比压电机构，设有步进电机，并且使压电 |
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