| 用于三维原子探针样品的FIB-SEM双束电镜样品台 |
| CN202221009526.2 2022-4-28 实用新型 |
| 2023-5-16 |
| 用于三维原子探针样品的FIB?SEM双束电镜样品台，包括底座、样品基座和固定螺栓；样品基座固定安装于底座上，样品基座包括第一斜面和第二斜面，第一斜面与水平面的夹角为52°，第一斜面和第二斜面在上边缘线处相交，第一斜面开有用于放置三维原子探针样品的置物孔，置物孔为盲孔，置物孔的轴线垂直于第一斜面，第二斜面开有螺纹孔，螺纹孔与置物孔的侧面连通，固定螺栓旋入螺纹孔内，从而固定螺栓的尾部抵住三维原子探针样品。本实用新型通过置物孔倾角38°的设置，可以确保样品与离子束在同一角度，可以实现快速对三维原子探针样品的微加工以及SEM观测，减少了复杂的操作步骤，提高了加工和观测效率，属于FIB微纳加工技术领域。 |
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