| 气体分析传感器及其制造方法 |
| DE10337692 2003-8-12 发明授权 |
| 2005-3-24 |
| 一气体分析传感器是根据本发明还建议，以训练的传感器元件作为发电机用于表面(saw)波。进一步本发明是指一种过程用于生产这种气体的分析传感器通过装置的腐蚀技术。所述腐蚀处理的所述衬底(11)在这样的一种方式来实现，其通过合适的装置的组合各向同性和各向异性腐蚀步骤在所述单晶衬底材料(例如硅)即使壁面(13)被产生的; 用于一分离的单-晶体，压电层(14)自己的，与合适的连接与连接电极(16)作为发电机用于表面波是根据本发明适用于。一种气体分析传感器可以良好被通过该制造过程制造的，与其中所述传感器元件可以节省空 |
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