| 用两个或两个以上光源测量光诱导力的方法&光诱导力显微镜 |
| KR1020210151377 2021-11-5 发明申请 |
| 2023-5-12 |
| 本发明提供了一种用具有不同调制频率的两个以上光源产生光诱导力，能够同时快速测量各种样品特性的光诱导力的测量方法及光诱导力显微镜。根据本发明的一个实施例的方法，一种测量光诱导力的方法，利用被配置成探针沿样品表面跟随的扫描探头装置以及被配置成探针末端与样品之间照射光的两个或更多光源。以带有上述探针的悬臂的谐振频率之一的第一频率振动上述探针，同时使其与上述样品表面相互作用的步骤；二或二以上光源分别以不同波长且与上述第一频率不同的频率分别调制的光同时照射在上述样品表面与上述探针之间的步骤；以及通过测量对调制后的2或2以上波长的机械振动，同时对2或2以上样品表面的特性进行成像的步骤；包括。根据本发明，可以通过一次扫描同时获得2或2以上光诱导力的特性，从而大幅度提高测量速度，并且可以通过一次扫描比较同一区域内的特性差异。 |
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