| 操作扫描电子显微镜(SEM)的方法和使用其制造半导体器件的方法 |
| US17879515 2022-8-2 发明申请 |
| 2023-5-11 |
| 扫描电子显微镜(SEM)包括：电子枪; 偏转器; 物镜; 第一和第二检测器，每个检测器被配置为检测基于照射在晶片上的输入电子束而从晶片发射的发射电子; 第一能量过滤器，被配置为阻挡基于输入电子束而从晶片发射的发射电子中的能量小于第一能量的电子被第一检测器检测到; 以及第二能量过滤器，被配置为阻挡所述发射电子中的能量小于第二能量的电子被所述第二检测器检测到。 |
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