透射电子显微镜中基于激光的对比度控制
 
WOIL22051157  2022-11-1  发明申请

2023-5-11
 
  一种用于电子束成像或电子束光谱学的系统和方法。 该系统包括:具有后焦平面的透射电子显微镜(TEM); 一个或多个基于激光的装置,所述一个或多个基于激光的装置被配置为将电子波的预定部分移位到与由TEM的电子源最初提供的能量不同的能量; 以及电子能量滤波器,所述电子能量滤波器被配置为接受由所述TEM的所述电子源提供的能量的电子波,并且还被配置为拒绝由所述激光装置移位到不同能量的电子波。
 
仿站