| 原子力显微镜悬臂、系统和方法 |
| US17493015 2021-10-4 发明授权 |
| 2023-5-9 |
| 原子力显微镜(AFM)悬臂的表面由悬臂主体和岛限定。 岛状物通过主体和岛状物的相对边缘之间的分离空间与主体部分地分离。 至少一个桥将所述岛沿着一条线连接到所述主体，所述岛能够通过所述至少一个桥的扭转而围绕所述线旋转。 岛具有位于岛上偏离所述线的位置处的探针尖端和反射区域。 在AFM中，光源将光引导到反射区域，并且光斑位置检测器检测由被反射区域反射的光形成的光斑的位移，用于测量施加在探针针尖上的力的影响。 |
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