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产业专利数据

用于提供形貌信息的高分辨率、低能电子显微镜和掩模检查方法

WOEP22079753 2022-10-25 发明申请

2023-5-4

提出了一种校正扫描电子显微镜(CSEM)和一种操作CSEM以选择性地将材料对比度与形貌对比度分离的方法。所述显微镜和所述方法能够利用从低能一次电子产生的反向散射电子实现高成像分辨率。所述CSEM和所述方法适用于分辨率要求在低nm范围甚至更低的掩模修复和电路编辑工艺。