| 一种用于透射电子显微镜的电子束偏转脉冲发生装置 |
| CN202310220175.2 2023-3-2 发明申请 |
| 2023-5-2 |
| 本申请公开了一种用于透射电子显微镜的电子束偏转脉冲发生装置，应用于透射电子显微镜的物镜系统中，包括方波脉冲模块和负脉冲发生模块；所述方波脉冲模块，用于根据待测样品的特性向所述负脉冲发生模块发送预设频率的方波触发脉冲信号；所述负脉冲发生模块，用于对所述方波触发脉冲信号进行波形处理，得到具有偏置电压的负脉冲输出信号；其中，所述负脉冲输出信号用于改变电子束的入射角度和入射电子数量。本发明可产生具有直流偏置电压且脉宽较窄的快速脉冲信号，使电子束在直流偏置电压的作用下发生偏转，而不辐照在样品上；当快速脉冲到来时，电子束在脉冲发生时的极短时间内辐照在样品上，能够对样品进行保护、延长样品的使用寿命。 |
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