| 一种用于高压扫描探针显微镜的高压腔体结构及其工作方法 |
| CN202211369370.3 2022-11-3 发明申请 |
| 2023-4-28 |
| 本发明公开了一种用于高压扫描探针显微镜的高压腔体结构及其工作方法，腔体结构包括筒体，筒体的筒壁上设有快开法兰观察窗，顶盖通过第一紧固件和第二密封件与筒体的上部密封连接，所述顶盖上开设有进气口、出气口以及一D型真空馈通法兰；底座通过第二紧固件和第三密封件与筒体的下部密封连接；初级减震机构，设置在顶盖与显微镜主腔体顶部之间；次级减震机构，设置于底座与显微镜主腔体之间。本发明用于高压扫描探针显微镜的高压腔体结构，可以实现高压扫描探针显微镜高压腔内不同反应气体压力的灵活可调，实现在超高真空条件下对扫描探针和待测样品的快速更换并且不会对主腔体内壁造成直接污染。 |
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