| 一种扫描电镜样品台 |
| CN202222870108.9 2022-10-24 实用新型 |
| 2023-4-28 |
| 本实用新型公开了一种扫描电镜样品台，属于半导体芯片制造技术领域；包括基台，所述基台的一侧两个基座，两个基座之间通过转轴安装有样品夹，所述样品夹包括由导电材料制成的下夹持片和上夹持片，所述上夹持片的上表面靠近端部位置通过转轴安装有具有导性能的标记指针；所述上夹持片包括靠近基台铰接端设有拱高部和位于夹持端的夹持部。采用上述技术方案，本实用新型可以避免导电胶带对样品的污染以及满足在电镜下快速寻找的要观察的区域，同时可以满足多角度观察样品的需求。 |
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