| 电子显微镜及图像获取方法 |
| US17973993 2022-10-26 发明申请 |
| 2023-4-27 |
| 一种电子显微镜，包括用于发射电子束的电子源、用于聚焦束的照明透镜、用于校正像差的像差校正器、设置在照明透镜和像差校正器之间并用于偏转束并改变其相对于样品的倾斜度的照明偏转器组件、用于利用束扫描样品的扫描偏转器、物镜、用于检测透射通过样品的电子并产生图像信号的检测器、用于控制照明偏转器组件的控制部分， 以及图像生成部分，用于接收图像信号并生成差分相衬(DPC)图像。 通过照明偏转器组件改变光束的倾斜，使得图像生成部以光束的不同倾斜角生成多个DPC图像，并且基于DPC图像创建最终图像。 |
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