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一种形成MEMS的气相色谱仪和方法用于MEMS气相色谱仪分离柱

WOUS15066076 2015-12-16 发明申请

2016-6-23

微型气相色谱仪，包括一个或多个分离柱形成在器件层。所述分离柱的沟道截面的长沟道长度小原子光滑通道的侧壁实现高的信道封装密度，多通道位于彼此顶部，和信道段是热去耦的基板。所述微型气相色谱仪也使得静电和热致动器被定位靠近所述分离柱中，使得所述材料通过一个柱或多个局部加热，局部降温，与电偏压。