| 扫描电子显微镜 |
| CN202223123645.3 2022-11-23 实用新型 |
| 2023-4-25 |
| 本实用新型公开了一种扫描电子显微镜，该扫描电子显微镜包括钨灯丝电子枪、电压管、样品台和物镜。钨灯丝电子枪包括阴极，阴极连接负电位；负电位为对地负电压；电压管与钨灯丝电子枪间隔设置，电压管内形成有通道，通道供钨灯丝电子枪发出的电子束通过，电压管包括间隔设置的第一电压管和第二电压管，第一电压管和第二电压管之间形成电势差以对电子束进行会聚；样品台设置在电压管背离钨灯丝电子枪的一侧，用于承载样品。物镜设置在样品台和电压管之间，物镜环绕电压管设置。第一电压管和阴极之间形成较大的电场，从而克服空间电荷效应对束流亮度的限制，进而提升扫描电子显微镜的分辨率。 |
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