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一种用于电子气二氟甲烷中杂质检测的分析装置及方法

CN202210345816.2 2022-4-2 发明申请

2022-5-31

本发明公开了一种用于电子气二氟甲烷中杂质检测的分析装置及方法，通入氦气为载气，采用两个氦离子化检测器、五个切换阀，三个定量环，六根色谱柱，组成一个分析装置。该装置通过一次进样，经阀切换，色谱柱分离后，同时检测电子气二氟甲烷中杂质。该方法灵敏度高，操作方便，定量准确。