| 原子力显微镜和样品测量方法 |
| JP2021164521 2021-10-6 发明申请 |
| 2023-4-18 |
| 所要解决的问题：提供一种能够高精度地测定移动中的大量微细样品的原子力显微镜和样品测定方法。 解决方案：原子力显微镜包括：Z-piezo 15a，其精细地移位样品台13和悬臂11的相对位置，使得样品12和悬臂11之间在Z方向上的距离变得恒定； XY压电元件15b，其通过在XY方向上移动样品台13和悬臂11的相对位置来扫描样品12的检测区域； 使样品台13和悬臂11的相对位置在Z方向上位移比Z-piezo 15a的位移量粗的粗致动器54； 退避控制部216，其通过在XY平面上设定将样本12的检测区域划分为多个而得到的划分区域D1-D9，并对每个划分区域D1-D9使粗动致动器54位移，来校正悬臂11的Z方向的位置； 以及图像处理电路31，其针对每个分割区域D1-D9，基于Z-piezo 15a的位移量对样品12进行拍摄。 选图：图2版权：(C)2023, JPO&INPIT |
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