| 基于平板物镜的反射式共焦扫描显微镜 |
| CN202211563120.3 2022-12-7 发明申请 |
| 2023-4-14 |
| 本发明提供了一种基于平板物镜的反射式共焦扫描显微镜，包括：第一分束器，适用于对光信号进行分束；平板物镜，同时作为聚焦镜和收集镜集成于反射式共焦扫描显微镜中，适用于对透过第一分束器的入射光信号形成超衍射极限焦斑以及收集被检测样品反射的反射光信号；电动位移台，适用于承载检测样品，并控制检测样品的移动；第二分束器：适用于对经过第一分束器的反射光信号进行第二次分束处理；第一透镜，适用于对经过第二分束器的反射光信号进行聚焦；孔径光阑，被配置为设置于第一透镜的焦平面处，适用于对经过第一透镜的反射光信号进行滤除离焦光处理；第一光电探测器，适用于检测通过孔径光阑的反射光信号。 |
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