| 一种扫描电镜用电子枪高压电缆引入装置 |
| CN202211508774.6 2022-11-29 发明申请 |
| 2023-4-14 |
| 本发明涉及显微镜技术领域，具体涉及一种扫描电镜用电子枪高压电缆引入装置，包括高压电缆、安装法兰、绝缘封接件和绝缘填充物，安装法兰固定在电子枪室一侧接口处，绝缘封接件呈板状，封堵安装在安装法兰靠近电子枪室内部的一侧开口处，绝缘封接件与安装法兰共同围合而成容纳腔，绝缘封接件上固定有电极柱组，绝缘封接件加厚处理，高压电缆由安装法兰的外部伸入容纳腔与电极柱组一端连接，电极柱组另一端与电子枪耦接；绝缘填充物适于在高压线缆位置固定后填充在容纳腔内。本申请通过安装加厚片状绝缘封接件，减少了占用空间，增大自身和电极柱组的接触面积，增强了耐压性能和绝缘性能，同时降低了导热性能，保证电子束的稳定性，成像质量高。 |
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