| 一种应用于透射电镜样品气氛热处理设备 |
| CN202223272770.0 2022-12-7 实用新型 |
| 2023-4-11 |
| 本实用新型公开了一种应用于透射电镜样品气氛热处理设备，属于材料研究和电子显微镜技术领域。该设备包括气氛腔室和原位加热样品杆，所述气氛腔室包括腔室基座和温度传感器，温度传感器设于腔室基座内反馈加热温度；腔室基座上接有原位样品加热杆、真空泵、真空规、气瓶；所述原位加热样品杆上设有加热芯片、电学探针座和加热线；加热芯片上有样品材料、透光孔、SiC加热膜和芯片加热电极；所述样品材料焊接在透光孔上，透光孔四周覆有SiC加热膜，SiC加热膜与芯片加热电极相连；所述芯片加热电极与电学探针座上的钨针接触，并通过上样螺钉压紧。该设备能实现透射电镜样品在气氛场和热场耦合下的改性准原位实验。 |
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