| 一种微悬臂、探针及原子力显微镜 |
| CN202211493353.0 2022-11-25 发明申请 |
| 2023-4-7 |
| 本发明提供一种微悬臂、探针及原子力显微镜，该微悬臂应用于原子力显微镜，所述微悬臂包括第一区域、第二区域和第三区域，所述第一区域和所述第三区域分别设置在所述微悬臂的两端，所述第二区域在所述第一区域和所述第三区域之间，所述第一区域用于固定所述微悬臂的一端，所述第三区域内设置有用于探测被测样品的针尖，所述第二区域内包括至少一个微沟道。本发明实施例中，在微悬臂的第二区域内包括至少一个微沟道，以将微悬臂划分成更小的悬臂，每个悬臂具有各自的共振频率，至少两个更小的悬臂的叠加，可以降低微悬臂整体的Q值，使微悬臂具有更宽的频幅峰，对更宽频的信号进行响应，进而可以满足检测不同频率的振动信号的要求。 |
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