| 能够应用于近场光学的原子力显微镜激光头 |
| CN202211574955.9 2022-12-8 发明申请 |
| 2023-4-7 |
| 本发明公开了一种能够应用于近场光学的原子力显微镜激光头,属于光学器械领域,扫描器固定盘安装于原子力头部组件,反射镜以及探针组件安装于扫描器固定盘,扫描器固定盘设有光路通道,反射镜位于光路通道中,反射镜的反射面朝向探针,原子力发射器、反射镜以及探针与光路通道位于同一直线上,原子力发射器发出的光经反射镜射至探针并被探针反射至原子力接收器,反射组件将近场光学装置的激光发射器发出的激光反射至探针,探针将激光反射并且反射激光经反射组件反射至激光接收器,通过上述设计,激光头同时具有近场光学显微镜以及原子力显微镜的功能,只需一个探针,并且近场光学显微镜的功能和原子力显微镜的功能能够单独使用。 |