| Z向粗定位组件及采用该Z向粗定位组件的原子力显微镜 |
| CN202222818265.5 2022-10-25 实用新型 |
| 2023-4-7 |
| 本申请涉及高精度表面形貌测量仪器领域，更具体地，涉及一种Z向粗定位组件及采用该Z向粗定位组件的原子力显微镜。在本申请的一些实施例中，与固定件连接的测头连接件设置于固定件的重心线上，减小了测头与固定件之间的Z向相对振动，进而减小或消除了探针针尖与样品表面之间存在的Z向相对振动，提高了原子力显微镜测出的样品表面的Z向高度的准确性。在本申请一些实施例中，在测头连接件位于固定件的重心线上时，测头连接件与固定件作为整体其重心降低，更靠近原子力显微镜的重心，测头连接件与固定件作为整体其重心降低，具有更好的稳定性。 |
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