| 一种用于电子气体三氟化氮中的杂质组分分析系统 |
| CN202011130084.2 2020-10-21 发明申请 |
| 2021-1-26 |
| 本发明公开了一种用于电子气体三氟化氮中的杂质组分分析系统，包括第一切换阀、第二切换阀、第三切换阀、第四切换阀、第一定量环、第二定量环、第一色谱柱、第二色谱柱、第三色谱柱、第四色谱柱、第一短接气路管道、第二短接气路管道、脉冲放电氦离子化检测器、气路管道、第一针型阀、第二针型阀、第三针型阀和第四针型阀，本发明，实现电子气体三氟化氮中的氢气、氧气、氮气、一氧化碳、四氟化碳、甲烷、二氧化碳、氧化亚氮组分分析，采用中心切割分离技术，组分之间无干扰峰，定性定量准确，灵敏度可达ppb级别。 |
微信公众号