| 一种用于电子气体三氟甲烷中的杂质组分分析系统 |
| CN202011130087.6 2020-10-21 发明申请 |
| 2021-1-26 |
| 本发明公开了一种用于电子气体三氟甲烷中的杂质组分分析系统，包括第一切换阀、第二切换阀、第三切换阀、第一定量环、第二定量环、第一色谱柱、第二色谱柱、第三色谱柱、第四色谱柱、第五色谱柱、第一针型阀、第二针型阀、第一脉冲放电氦离子化检测器和第二脉冲放电氦离子化检测器，本发明，可以检测三氟甲烷中的CF4、CO2、R32、R143a、O2、Ar、N2、CO、R22、R12、R21组分，各组分之间分离度R≥1.5，定性定量准确，检测限可达ppb级别。 |
微信公众号