| 扫描束显微镜原位实时直接测量力学性能 |
| US18079759 2022-12-12 发明申请 |
| 2023-4-6 |
| 描述了用于直接测量样品的机械性能同时使用扫描束显微镜(例如，扫描电子显微镜(SEM))对样品同时成像的系统和方法。 所述系统包括夹持安装件和测压元件，所述夹持安装件构造成保持所述样品，所述测压元件定位在所述夹持安装件近侧并且构造成提供对所述样品端部上的力的直接、实时测量。 所述系统还包括可控探针，所述可控探针被配置为向所述样品施加力。 在一些实施例中，样品测压元件可倾斜地联接到由夹持安装件保持的样品，并且可控探针可在相对于测压元件的多个不同安装位置之间移动。 |
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