扫描探针显微镜及程序
 
WOJP22013493  2022-3-23  发明申请

2023-4-6
 
  在根据本公开的实施例的扫描探针显微镜中,将待观察的样品的区域划分为多个区域,并且驱动扫描仪以逐区域地扫描样品的表面。 数据处理单元获取分别对应于所述多个区域中的每一个的多项图像数据。 输入装置接收与所述多个图像数据项的获取条件有关的用户输入。 获取条件包括扫描仪扫描条件。 当所述输入装置接收针对以下三个变量中的任意两个变量的用户输入时:针对每一数据项的扫描仪的扫描范围; 相邻两个扫描范围之间的间距; 以及可以从扫描仪的最大扫描范围获取的视场的最大数量,数据处理单元基于所接收的两个变量来计算三个变量中的剩余变量。
 
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