| 用于扫描探针显微镜的运动台的主动抖动平衡 |
| WONL22050547 2022-9-30 发明申请 |
| 2023-4-6 |
| 本公开涉及一种用于扫描探针显微镜系统的z位置运动台、一种扫描探针显微镜系统和一种操作该运动台的方法。 所述运动台(1)包括扫描仪主体(10)和驱动抖动(30)，所述驱动抖动用于以振荡运动(31)驱动与所述驱动抖动相关联的探针(50)的悬臂(51)。 所述台还包括至少第一力平衡装置(60)，所述第一力平衡装置在跨过所述运动台(1)的中性中心(N)与所述驱动抖动(30)相对的位置处作用在所述扫描仪体上，其中所述力平衡装置(60)包括至少第一平衡抖动(61)，所述第一平衡抖动被配置为与所述驱动抖动协调地振荡。 |
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