| 深空环境原子力显微镜的柔性隔振装置 |
| CN202211537223.2 2022-12-1 发明申请 |
| 2023-4-4 |
| 本发明公开了一种深空环境原子力显微镜的柔性隔振装置，该柔性隔振装置(7)安装在现有AFM的圆形安装台(58)与探针限位座(55)之间。柔性隔振装置(7)上设有中心质量块(7G)，安装在中心质量块(7G)下方的石英音叉探针(5)的针尖距离样品台(4)之间的高度为0.8mm。第一支撑梁单元(7A)、第二支撑梁单元(7C)、中心梁单元互为平行。增加了柔性隔振装置(7)的AFM系统降低了由地面振动引起的振动噪声，同时实现了结构无摩擦、小型化的目标，大大提高了AFM系统在无外部隔振器的振动环境中的稳定性和抗振性，从而满足了深空环境中对样品原位表征的要求。 |
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